晶圆芯片外观自动检测AOI算法助力高难度细微缺陷检测

　　肉眼可以察觉的缺陷，图像处理就是无法检测。搭载全新算法的晶圆芯片外观自动检测AOI系统，让依赖于目视检测，因照射角度隐约可见的较浅划伤、凹陷及细微的瑕疵缺陷无所遁形。

　　内容

　　镜面反射模式的视觉系统，通过独特的图像算法和外观检测算法，即使是细微缺陷，仍可实现自动检测。

　　拍摄算法

　　采集图像是视觉处理的关键，基恩士推出最快142800行/秒拍摄的线型扫描相机、高速条纹图案发光LED光源，一次拍摄生成多张符合不同用途的图像。

　　外观检测算法

　　消除模糊区域的影响，抽取缺陷位置;检测复杂轮廓中产生的毛刺、缺口;针对工件状态和外部环境所产生的条件变化，开发提供24种可大幅改善的预处理功能。