晶圆芯片外观自动检测AOI的原理是什么?

发布时间:2024-07-01

 

  产品表面的各种缺陷在光学特性上必然与产品本身不同。当光线入射到产品表面时,各种缺陷在反射和折射上会与周围不同。例如,当均匀光垂直入射到产品表面时,如果产品表面没有缺陷,出射方向不会改变,检测到的光是均匀的;当产品表面含有缺陷时,发出的光会发生变化,检测到的图像也会发生相应的变化。

  由于缺陷的存在,在其周围产生应力集中和变形,这在图像上很容易观察到。如果遇到透光缺陷(如裂纹、气泡等。),光线会在缺陷位置发生折射,光线的强度会比周围大,所以在相机目标面上检测到的光线会相应增强。如果遇到吸光的杂质(比如沙子等。),缺陷位置的光线会变弱,相机目标面上检测到的光线比周围光线弱。通过分析摄像机采集的图像信号的强度变化和图像特征,可以获得相应的缺陷信息。

  采用机器视觉系统的晶圆芯片外观自动检测AOI可以替代传统的人工检测,实现产品外观的在线高速自动检测,实现产品表面缺陷检测的自动识别。它具有效率高、精度高、成本低、操作简单等优点。具有强大的可视化软件,易于调整,灵活方便,测量数据可存储,便于建立统计分析,快速发现和解决问题。


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